一、以工程案例跨学科整合课程

依托“贯穿项目”构建的知识点脉络,构建工程案例,纳入公共基础课程、专业基础课程及专业课程教学大纲,跨学科整合课程。以工程案例为纽带,实现“基础课教师懂工程、专业课教师精工程、项目导师擅工程”规模化培养目标。以微电子科学与工程专业贯穿项目示例跨学科整合过程。

1 微电子科学与工程专业贯穿项目教师工程教学能力要求一览表

(碳化硅MEMS压力传感器系统设计与实践)

序号

工程对象

辐射课程

学生掌握知识点

教师工程教学能力要求

1

贯穿项目

新生研讨课

1.了解行业背景。

2.明晰项目内涵。

3.建立专业预期。

项目凝练构建、全周期管理、跨环节协同指

导、产业资源整合的综合能力。

2

压力传感器

敏感膜量程

高等数学

偏微分方程。

1.了解MEMS压力传感器敏感膜结构及量

程设计需求。

2.理解敏感膜受力形变与偏微分方程关系。

3.求解偏微分方程,解释各参量与传感器量

程的关系。


......

......

......

......

6

压力传感器

动态系统建模

信号与系统

时域/频域分析。

1.了解SiC压力传感器及其指标要求。

2.求解动态性能(响应速度、带宽、固有频

率)时域/频域解释。

3.了解传感器信号变换需求,为学生举例采

样定理、低通抗混叠滤波。


......

......

......

......

12

SiC敏感膜

电阻材料及

器件设计

半导体物

理与器件

1.能带理论。

2.迁移率及其应变敏感性。

3.欧姆接触原理。

4.器件建模与设计。

1.理解半导体迁移率与压力、应变和温度的

相关性。

2.理解掺杂浓度与压敏电阻和欧姆接触性

能的影响机制。

3.根据案例需求初步设计压敏电阻掺杂和

尺寸参数。


......

......

......

......

17

全流程

综合实践

项目群

1.项目需求、设计、仿真、

制造、测试、应用的能力。

2.项目管理、团队协作、

方案迭代的能力。

1.全链条工程技术教学能力

2.工程项目全周期管理教学能力

3.团队协作与方案迭代育人能力

4.成果产出指导能力

5.过程化评价与持续改进教学能力

二、基础课教师懂工程

贯穿项目需运用《高等数学》中“偏微分方程求解”相关知识点。高等数学教师与专业课程教师依托协同备课、联合教研,逐步掌握工程场景化授课与数理原理建模能力(图1)。专业教学团队与高等数学教师联合开发工程案例的实施流程如下:

1)专业教师为高等数学教师系统提供“碳化硅压敏元件的功能机制”等工程背景知识以及基于偏微分方程构建压敏元件压力-位移的简化数学模型,并完成工程参数解析;

2)高等数学任课教师制定工程案例融入教学的具体实施方案,由专业教师团队进行科学性审核;

3)在偏微分方程求解课堂教学中,高等数学任课教师以压力-位移关系为工程原型,在阐释物理背景后引导学生完成偏微分方程求解,并解读物理意义;

4)学生完成线上工程案例应用考核,由高等数学教师与专业课程教师联合命题、协同批阅并开展针对性教学反馈。

1 《高等数学》教师懂工程过程

三、专业课教师精工程

以《信号与系统》和《半导体物理与器件》课程示例。

贯穿项目中赋予《信号与系统》课程两项任务:一是SiC半导体压力传感器敏感膜动态性能,二是在满足动态性能条件下采样频率的选择。为此《信号与系统》课程教师,首先要了解先修课程中学生已经完成的任务,结合项目技术指标及边界条件,将偏微分方程模型转换为频域特性,求解系统的响应速度、带宽、固有频率等特性。其次利用采样定理给出模拟信号转换为数字信号的最小采样频率,讲解频率混叠及抗混叠滤波器。最后在学生理解的原理后,借助其他专业课教师的协助,用专业软件实施工程化实现,为后续课程提供知识储备(图2)。

2  《信号与系统》教师精工程过程

贯穿项目中赋予《半导体物理与器件》课程四项任务:一是利用能带理论理解SiC压阻特性及其温度性能,二是利用载流子浓度、迁移率计算压敏电阻大小,三是理解SiC欧姆接触原理并给出设计优化方向,四是整合需求和工艺约束初步开展压阻及电桥设计与建模。为此《半导体物理与器件》课程教师,首先要了解先修课程中学生已经完成的任务,将能带、半导体掺杂、欧姆接触、半导体温度效应等课堂理论转换为设计模型,并结合项目需求和工艺约束边界初步开展压敏电阻、欧姆接触和电桥线路的综合设计。最后在学生理解的原理后,借助其他专业课教师的协助,用专业软件实施工程化实现,为后续课程提供知识储备(图3)。

3 《半导体物理与器件》教师精工程过程

四、项目导师擅工程

依托校内专业骨干教师教研团队,完整拆解项目导师工程素养培育体系,共划分为七大核心培养模块(图4)。在校级教学大纲规范、跨学科联合教研支撑、配套激励机制保障的多重支撑下,项目导师需循序渐进、分层掌握全链条工程教学相关内容:

1)项目要求模块:吃透项目研发背景、设计规范依据、核心技术指标等顶层设计内容;

2)硬件系统模块:精通SiC敏感膜设计制备、器件封装工艺、信号调理电路、高速数据采集等硬件开发全流程;

3)软件系统模块:熟练运用数据采集与可视化界面、动态误差补偿算法、数据存储与分析程序开发工具;

4)系统标定模块:掌握常温标定、高温环境标定、长期稳定性标定三类系统校准试验方法;

5)可靠性模块:精通设备抗振动、抗冲击、电磁抗干扰、电磁兼容等可靠性测试与优化技术;

6)产品指标考核模块:具备完整产品性能指标检验、测评、验收能力;

7)全流程管理模块:覆盖学生项目全过程指导、项目成本测算管控、产学研产业资源对接等综合管理工作。

导师通过多轮项目指导实操、工程实践打磨,系统补齐工程教学短板,最终达成擅长工程实践、胜任工程类项目教学的综合能力。

4 项目导师擅工程过程