一、以工程案例跨学科整合课程
依托“贯穿项目”构建的知识点脉络,构建工程案例,纳入公共基础课程、专业基础课程及专业课程教学大纲,跨学科整合课程。以工程案例为纽带,实现“基础课教师懂工程、专业课教师精工程、项目导师擅工程”规模化培养目标。以微电子科学与工程专业贯穿项目示例跨学科整合过程。
表1 微电子科学与工程专业贯穿项目教师工程教学能力要求一览表
(碳化硅MEMS压力传感器系统设计与实践)
序号 | 工程对象 | 辐射课程 | 学生掌握知识点 | 教师工程教学能力要求 |
1 | 贯穿项目 | 新生研讨课 | 1.了解行业背景。 2.明晰项目内涵。 3.建立专业预期。 | 项目凝练构建、全周期管理、跨环节协同指 导、产业资源整合的综合能力。 |
2 | 压力传感器 敏感膜量程 | 高等数学 | 偏微分方程。 | 1.了解MEMS压力传感器敏感膜结构及量 程设计需求。 2.理解敏感膜受力形变与偏微分方程关系。 3.求解偏微分方程,解释各参量与传感器量 程的关系。 |
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6 | 压力传感器 动态系统建模 | 信号与系统 | 时域/频域分析。 | 1.了解SiC压力传感器及其指标要求。 2.求解动态性能(响应速度、带宽、固有频 率)时域/频域解释。 3.了解传感器信号变换需求,为学生举例采 样定理、低通抗混叠滤波。 |
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12 | SiC敏感膜 电阻材料及 器件设计 | 半导体物 理与器件 | 1.能带理论。 2.迁移率及其应变敏感性。 3.欧姆接触原理。 4.器件建模与设计。 | 1.理解半导体迁移率与压力、应变和温度的 相关性。 2.理解掺杂浓度与压敏电阻和欧姆接触性 能的影响机制。 3.根据案例需求初步设计压敏电阻掺杂和 尺寸参数。 |
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17 | 全流程 综合实践 | 项目群 | 1.项目需求、设计、仿真、 制造、测试、应用的能力。 2.项目管理、团队协作、 方案迭代的能力。 | 1.全链条工程技术教学能力 2.工程项目全周期管理教学能力 3.团队协作与方案迭代育人能力 4.成果产出指导能力 5.过程化评价与持续改进教学能力 |
二、基础课教师懂工程
贯穿项目需运用《高等数学》中“偏微分方程求解”相关知识点。高等数学教师与专业课程教师依托协同备课、联合教研,逐步掌握工程场景化授课与数理原理建模能力(图1)。专业教学团队与高等数学教师联合开发工程案例的实施流程如下:
(1)专业教师为高等数学教师系统提供“碳化硅压敏元件的功能机制”等工程背景知识以及基于偏微分方程构建压敏元件压力-位移的简化数学模型,并完成工程参数解析;
(2)高等数学任课教师制定工程案例融入教学的具体实施方案,由专业教师团队进行科学性审核;
(3)在偏微分方程求解课堂教学中,高等数学任课教师以压力-位移关系为工程原型,在阐释物理背景后引导学生完成偏微分方程求解,并解读物理意义;
(4)学生完成线上工程案例应用考核,由高等数学教师与专业课程教师联合命题、协同批阅并开展针对性教学反馈。
图1 《高等数学》教师懂工程过程
三、专业课教师精工程
以《信号与系统》和《半导体物理与器件》课程示例。
贯穿项目中赋予《信号与系统》课程两项任务:一是SiC半导体压力传感器敏感膜动态性能,二是在满足动态性能条件下采样频率的选择。为此《信号与系统》课程教师,首先要了解先修课程中学生已经完成的任务,结合项目技术指标及边界条件,将偏微分方程模型转换为频域特性,求解系统的响应速度、带宽、固有频率等特性。其次利用采样定理给出模拟信号转换为数字信号的最小采样频率,讲解频率混叠及抗混叠滤波器。最后在学生理解的原理后,借助其他专业课教师的协助,用专业软件实施工程化实现,为后续课程提供知识储备(图2)。
图2 《信号与系统》教师精工程过程
贯穿项目中赋予《半导体物理与器件》课程四项任务:一是利用能带理论理解SiC压阻特性及其温度性能,二是利用载流子浓度、迁移率计算压敏电阻大小,三是理解SiC欧姆接触原理并给出设计优化方向,四是整合需求和工艺约束初步开展压阻及电桥设计与建模。为此《半导体物理与器件》课程教师,首先要了解先修课程中学生已经完成的任务,将能带、半导体掺杂、欧姆接触、半导体温度效应等课堂理论转换为设计模型,并结合项目需求和工艺约束边界初步开展压敏电阻、欧姆接触和电桥线路的综合设计。最后在学生理解的原理后,借助其他专业课教师的协助,用专业软件实施工程化实现,为后续课程提供知识储备(图3)。
图3 《半导体物理与器件》教师精工程过程
四、项目导师擅工程
依托校内专业骨干教师教研团队,完整拆解项目导师工程素养培育体系,共划分为七大核心培养模块(图4)。在校级教学大纲规范、跨学科联合教研支撑、配套激励机制保障的多重支撑下,项目导师需循序渐进、分层掌握全链条工程教学相关内容:
(1)项目要求模块:吃透项目研发背景、设计规范依据、核心技术指标等顶层设计内容;
(2)硬件系统模块:精通SiC敏感膜设计制备、器件封装工艺、信号调理电路、高速数据采集等硬件开发全流程;
(3)软件系统模块:熟练运用数据采集与可视化界面、动态误差补偿算法、数据存储与分析程序开发工具;
(4)系统标定模块:掌握常温标定、高温环境标定、长期稳定性标定三类系统校准试验方法;
(5)可靠性模块:精通设备抗振动、抗冲击、电磁抗干扰、电磁兼容等可靠性测试与优化技术;
(6)产品指标考核模块:具备完整产品性能指标检验、测评、验收能力;
(7)全流程管理模块:覆盖学生项目全过程指导、项目成本测算管控、产学研产业资源对接等综合管理工作。
导师通过多轮项目指导实操、工程实践打磨,系统补齐工程教学短板,最终达成擅长工程实践、胜任工程类项目教学的综合能力。

图4 项目导师擅工程过程